PFAS免费KrF光阻
替代
摘要
阳调KrF图片反射器覆盖广泛的应用-PFS和PFAS免费
描述性
GKR数列为正调KrF光阻系统,覆盖各种应用
- 非POS/PFAS材料
- 高抗等离子嵌入
- 高热稳定
可能的替换
PFASKrF光阻